Precursor-Versorgung
Das CANDI-System für CVD- und ALD-Prozesse bietet eine sehr hohe Zuverlässigkeit bei einer Entnahme von Precursorn sehr niedrigen Dampfdrucks.
Was möchten Sie erreichen?
Sie suchen eine Gasversorgung für Precursor (wie TEOS, TEPO, TiCl4, TCS, PET, 3MS, 4MS, DMPS, OMCTS, TMCTS u.s.w)?
Unsere Lösung
Das CANDI-System ist für die Precursor-Versorgung auch der neuesten CVD- oder ALD-Prozesse ausgelegt
(CVD = Chemical Vapour Deposition); ALD = Atomic Layer Deposition).
Zusätzlich zu den Eigenschaften der
regulären CANDI-Serie beinhaltet die Solvent-Serie
einen Spülzyklus mit Lösungsmitteln für besonders reaktive und
schwierig zu spülende Precursors.
Das CANDI-System kann für alle flüssigen Precursor genutzt werden:
für konventionelle "Oxide Precursor":
für USG- und BPSG-Prozesse: TEOS, TEB, TEPO,...
CANDI-Serie
Download Produktinformation (280 KByte)
CANDI-Solvent-Serie
Download Produktinformation (194 KByte)
Technische Details
ununterbrochene Versorgung durch integrierten Tagestank (mehrere Größen einsetzbar)
völlig automatisiert: Spülen, Leckerkennung, Umfüllung in Tagestank, Halten des Versorgungsdrucks
SEM1 S2-zertifiziert, CEM-getestet, CE-gekennzeichnet
bedienerfreundliches 10" Touchscreen; kleiner Footprint (630 x 500 (B,T))
exakte Versorgungsdruck-Kontrolle (+50 mbar)
patentierte Back-up Modes
Smart Empty Control, 100 % Entnahme
PLC-Technologie mit 10" Farb-Touch-Screen
qualifiziert von den meisten Herstellern für 300 mm Prozesse
Aufnahme aller semi-konformen Kanister
Spülzyklen angepasst an die jeweilige Chemikalie
Optionen:
Vakuum-Pumpe
Degassing unit
TMA-Version
Remote Monitoring (Profibus, Ethernet)
Operator-Training von Air Liquide
Weitere Informationen zu den CANDI-Systemen erhalten Sie im
Fachartikel zur Precursor-Versorgung (464 KByte) .
Ihre Vorteile
Kostenersparnis
spart erheblich Produktionskosten (bis zu mehreren 1.000 Euro pro Kanister)
Zuverlässigkeit / Uptime
keine Versorgungsunterbrechung bei Kanisterwechseln
direkte Versorgung aus dem Kanister als Back-up Mode
redundante Füllstandsmessung (externe, optische Erkennung mit 4 Leveln)
Versorgungsstabilität
ununterbrochene, stabile Versorgung auf gleichmäßigem Druckniveau (+/- 50 mbar)
Effizienz
Produkt wird bis zum letzten Tropfen genutzt
optimale, datenbasierte Spülzyklen
maßgeschneidert für Flüssig-Chemikalien
Flexibilität
für alle Kanistertypen einsetzbar
benötigt keine Füllstandsmessung in den angelieferten Kanistern ("SEC" - Smart Empty Control)
Viele Referenzen
ca. 100 CANDI-Systeme sind bereits weltweit im Einsatz (Asien, USA, Europa).
