Gaskabinett-Purge
Unser "Purge Detoxal™-System" behandelt giftige, korrosive oder brennbare Gase, die beim Spülen des Gaskabinetts abgegeben werden.
Was möchten Sie erreichen?
Sie möchten die im Gaskabinett anfallenden Gase (wie AsH3, PH3, SIH4 & Cl2) vor der Weitergabe an die Umwelt behandeln?
Unsere Lösung
Beim Spülen der Zylinder in den Gaskabinetten gelangen giftige, toxische oder brennbare Gase in die Abgasleitung. Diese können jedoch mit unserem Purge Detoxal™-System, das in das Kabinett integriert wird, bereits im Kabinett entfernt werden und gelangen damit nicht mehr in die Abgasleitung.
Mit dem "MULTI CABINET"-Purge Detoxal™ können Sie sogar 10 Gaskabinette bedienen.
Technische Details
Durch chemische Reaktion mit Feststoffen im Entsorgungsbehälter werden die zu behandelnden Stoffe verändert.
Trockene feste Chemikalien sind in einer Edelstahlkartusche enthalten. Diese ist mit einer VCR-Verbindung mit dem Gaspanel verbunden. Im Behälter findet nun sowohl eine Oxidation als auch eine Neutralisation statt.
Oxidationsprozess: SiH4+2MeO --> SiO2+2Me+2H2 (MeO: Metallic Oxide)
Neutralisationprozess: HCl+MeOH --> MeCl+H2O (MeOH: Neutralizer)
Nach der Sättigung sorgen wir für eine Neubefüllung und Behandlung der Kartusche (auch von arsentischen Anteilen). Dazu kann die Kartusche zu uns eingeschickt werden.
Das Purge Detoxal™-System ist für die aufgeführten Gase in den folgenden Prozessen einsetzbar:
für die Epitaxie: AsH3, PH3, B2H6, GeH4, HCL, DCS, TCS, SIH4
für Implanter: BF3, PH3, AsH3
für CVD-Anwendungen: SiH4, B2H6, PH3, HCL, Nitrid, DCS, NH3, TEOS
Ihre Vorteile
Entfernung von giftigen, korrosiven oder brennbaren Gasen noch vor dem Kabinett-Austritt
Reduzierung der Gase bis unter Detektierbarkeit und auf jeden Fall bis TLV-level
unkritische Transportfähigkeit genutzten Materials
keinerlei Desorption bei angereicherten Kartuschen
