Spezialgas-Versorgung

Wir bieten Ihnen Komplettlösungen für die Versorgung von Halbleiterprozessen mit Spezialgasen (ESG = Electronic Specialty Gases) an.

Unser Equipment für Ihre Spezialgas-Versorgung

Gaskabinette
Unsere FabStream™-Gaskabinette sind für alle Zylindergase geeignet und lassen sich durch viele frei wählbare Optionen individuell anpassen. ...weiter
AVP-Kabinette
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert. Bei größeren Bedarfen ist dies auch für Bulkgebinde erhältlich. ...weiter
Bulk-Versorgung (JUMBO™)
Diese Systeme sind für hohe Abnahmemengen (>100 l / Min.) konzipiert. ...weiter
Bündelstationen
Das CISA-System ist die optimale Lösung für eine Bündelversorgung mit Prozessgasen. ...weiter
Ventilbox
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). ...weiter

Unser Elektronik-Team berät Sie gerne. Sprechen Sie uns an!

Air Liquide - Wir stehen für Lösungen

Halbleiter & Photovoltaik

Vertriebspartner unterwegs finden?

Unsere Vertriebspartnersuche gibt es unter http://vpm.airliquide.de/ auch in einer mobilen Version für Ihr Handy. So haben Sie Ihre Vertriebspartner immer dabei!

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Übrigens...

Wir schulen Ihre Mitarbeiter im Umgang mit Gasen!

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Wir bieten Ihnen auch Laborgase und -equipment

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Sicherheitsdatenblätter zu all Ihren Gasen...

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Ihr Ansprechpartner

Fachbereich Halbleiter & Photovoltaik
Herr Volker Hebbel
Kontaktformular