Schwefelhexafluorid UHP
Eigenschaften
Formel
SF6
Haupteigenschaften
verflüssigtes Gas
schwerer als Luft
nicht brennbar
nicht giftig
Physikalisch-Chemische Eigenschaften
Aussehen | farblos |
Geruch | geruchlos |
Molmasse | 146,05 g/mol |
Zustand bei 20 °C, 1 bar | gasförmig |
Schmelzpunkt | -50,8 °C |
Siedepunkt (Sublimation) | -63,9 °C |
Kritische Temperatur | 45,6 °C |
Kritischer Druck | 37,6 bar |
Explosionsgrenze (in Luft) | entfällt |
Zündtemperatur | entfällt |
Dichte, gasförmig, (15 °C, 1 bar) | 6,18 kg/m³ |
Relative Dichte, gasf. (Luft = 1) | 5,11 |
Dampfdruck bei 20 °C | 21,08 bar |
Löslichkeit in Wasser (20 °C, 1 bar) | 42 mg/l |
Anmerkungen
Produkt ist deutschlandweit verfügbar
Anwendungen
Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
Sicherheit
Sicherheitsdatenblätter
Wir bieten Ihnen Sicherheitsdatenblätter zu Schwefelhexafluorid UHP als PDF-Dokumente zum Download an:
GGVS/ADR Klassifizierung
Bitte beachten Sie bei der Anwendung von Schwefelhexafluorid UHP die Klassifizierung nach den Sicherheitsvorschriften der GGVS/ADR:
UN 1080 Schwefelhexafluorid, Klasse 2 Ziffer 2 A
Transportkennzeichen
2.2: Nicht entzündbare, nicht giftige Stoffe
|
Schulungen
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Lieferformen
Schwefelhexafluorid UHP in Gasflaschen
Wir bieten Ihnen Schwefelhexafluorid UHP in Gasflaschen an.
Flaschenmerkmale
Schulterfarbe | leuchtendes Grün (RAL 6018)  |
Flaschenventil | DIN 477 Nr. 6 |
Qualitäten
| Bezeichnung | Reinheit/Fremdgase | Behälter | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Bezeichnung | Inhalt | Fülldruck | Materialnummer | ||
| Schwefelhexafluorid UHP | ≥ 99,998 Vol.%
| S02 ALU | 2,0 kg | 21,1 bar | k.A. |
| S10 ALU | 10,0 kg | 21,1 bar | k.A. | ||
| L40 ALU | 40,0 kg | 21,1 bar | k.A. | ||
