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Silan N50

Laden Sie hier das zugehörige Produktdatenblatt herunter (PDF, 62KB)

Eigenschaften

Formel

  • SiH4

Haupteigenschaften

  • schwerer als Luft

  • selbstentzündlich

  • giftig

Physikalisch-Chemische Eigenschaften

Aussehen

farblos

Geruch

unangenehm widerlich

Molmasse

32,12 g/mol

Zustand bei 20 °C, 1 bar

gasförmig

Schmelzpunkt

-185 °C

Siedepunkt

-112 °C

Kritische Temperatur

-3,5 °C

Kritischer Druck

48,45 bar

Explosionsgrenze (in Luft)

1-100 %

Zündtemperatur

selbstentzündlich

Dichte, gasförmig, (15 °C, 1 bar)

1,35 kg/m³

Relative Dichte, gasf. (Luft = 1)

1,11

Dampfdruck bei 20 °C

entfällt

Löslichkeit in Wasser (20 °C, 1 bar)

unlöslich

Anmerkungen

  • Produkt ist europaweit verfügbar

Anwendungen

  • Halbleiter-Industrie: Siliziumquelle in der Epitaxie, Niedertemperatur-Siliziumdioxid-CVD, Siliziumnitrid-CVD

Sicherheit

Gefahrenkennzeichen

Leicht- oder Hochentzündlich

Sicherheitsdatenblätter

Wir bieten Ihnen Sicherheitsdatenblätter zu Silan N50 als PDF-Dokumente zum Download an:

GGVS/ADR Klassifizierung

Bitte beachten Sie bei der Anwendung von Silan N50 die Klassifizierung nach den Sicherheitsvorschriften der GGVS/ADR:

  • UN 2203 Siliciumwasserstoff (Silan), Klasse 2 Ziffer 2 F

Transportkennzeichen

2.1: Entzündbare Gase

Schulungen

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Lieferformen

Silan N50 in Gasflaschen

Wir bieten Ihnen Silan N50 in Gasflaschen an.

Flaschenmerkmale

Schulterfarbe

rot (RAL 3000)

Flaschenventil (pneumatisch)

DIN 477 Nr. 1, DISS632

Qualitäten

BezeichnungReinheit/FremdgaseBehälter
BezeichnungInhaltFülldruckMaterialnummer
Silan N50

≥ 99,999 Vol.%

  • N2   < 0,5 ppmv

  • O2   < 0,5 ppmv

  • H2   < 50 ppmv

  • CO   < 0,1 ppmv

  • CO2   < 0,1 ppmv

  • CH4   < 0,1 ppmv

  • H2O   < 0,5 ppmv

  • AsH3   < 0,1 ppmv

  • PH3   < 0,1 ppmv

M20 Alu2-5 kgk.A. k.A.
L50 Stahl5-13 kgk.A. k.A.
V16 Stahl160 kgk.A. k.A.

Bezugsquellen

Unsere Gase können Sie beziehen über unsere Kunden-Service-Center .

Unsere regionalen Ansprechpartner informieren Sie gerne über eine Bezugsquelle vor Ort .

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Ihr Ansprechpartner Fachbereich Halbleiter & Photovoltaik
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