Tetrafluormethan N50
Eigenschaften
Formel
CF4
Haupteigenschaften
verdichtetes Gas
schwerer als Luft
in hohen Konzentrationen erstickend und betäubend
beim Umgang mit dem Produkt für ausreichende Belüftung sorgen
bei thermischer Belastung Bildung giftiger Abbauprodukte möglich
Physikalisch-Chemische Eigenschaften
Aussehen | farblos |
Geruch | geruchlos |
Molmasse | 88,01 g/mol |
Zustand bei 20 °C, 1 bar | gasförmig |
Schmelzpunkt | -184 °C |
Siedepunkt | -128 °C |
Kritische Temperatur | -46 °C |
Kritischer Druck | 37,4 bar |
Explosionsgrenze (in Luft) | entfällt |
Zündtemperatur | entfällt |
Dichte, gasförmig, (15 °C, 1 bar) | 3,69 kg/m³ |
Relative Dichte, gasf. (Luft = 1) | 3,04 |
Dampfdruck bei 20 °C | entfällt |
Löslichkeit in Wasser (20 °C, 1 bar) | 15 mg/l |
Anmerkungen
Produkt ist europaweit verfügbar
Anwendungen
Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen von Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, polykristallinem Silizium und einigen Silizium-Metallverbindungen vor dem CVD-Prozess (rein oder im Gemisch mit Sauerstoff)
Sicherheit
Sicherheitsdatenblätter
Wir bieten Ihnen Sicherheitsdatenblätter zu Tetrafluormethan N50 als PDF-Dokumente zum Download an:
GGVS/ADR Klassifizierung
Bitte beachten Sie bei der Anwendung von Tetrafluormethan N50 die Klassifizierung nach den Sicherheitsvorschriften der GGVS/ADR:
UN 1982 Tetrafluormethan (Gas als Kältemittel R 14), Klasse 2 Ziffer 2 A
Transportkennzeichen
2.2: Nicht entzündbare, nicht giftige Stoffe
|
Schulungen
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Lieferformen
Tetrafluormethan N50 in Gasflaschen
Wir bieten Ihnen Tetrafluormethan N50 in Gasflaschen an.
Flaschenmerkmale
Schulterfarbe | leuchtendes Grün (RAL 6018)  |
Flaschenventil | DIN 477 Nr. 6, DISS716 |
Qualitäten
| Bezeichnung | Reinheit/Fremdgase | Behälter | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Bezeichnung | Inhalt | Fülldruck | Materialnummer | ||
| Tetrafluormethan N50 | ≥ 99,999 %
| S5 | 1,8 kg | k.A. | k.A. |
| M20 | 11 kg | k.A. | k.A. | ||
| L50 | 32 kg | k.A. | k.A. | ||
