Precursor Behälter
Wir bieten Ihnen Precursor-Behälter in dem von Ihnen benötigten Design an.
Was möchten Sie erreichen?
Sie möchten. dass Ihnen Precursor in Gefäßen mit einer speziellen Konfiguration geliefert werden?
Sie haben an die Precursor-Gefäße konkrete Anforderungen bezüglich der Anschlüsse?
Sie benötigen Precursor-Gefäße mit individuellen Abmaßen?
Unsere Lösung
Die Lösung im Detail
Wir bieten Ihnen On-Board Kanister, ebenso wie extern plazierbare Behälter.
Alle Behältnisse sind aus elektropoliertem Edelstahl 316L gefertigt und unterliegen eingehenden Qualitätskontrollen
bezüglich Dichtigkeit und Produktintegrität.
Verschiedene Optionen sind verfügbar, wie z.B. Diptube, pneumatische oder manuelle Ventile,
Zusatzventile für Wiederbefüllung durch externe Liefersysteme, Füllstandsmesser, Verbindungsspülventile.
Für POCl3 sind auch Waschflaschen (bubbler) verfügbar.
Unsere Behälter ermöglichen die verschiedensten Einspeisungsvarianten: Verdampfungsmethoden ("Boiler-System", "Bubbler-Funktionalität") oder eine Flüssigeinspeisung. Die Anforderungen diverser Tool-Hersteller werden erfüllt (z.B. für AMAT MOCVD, ASM Polygone, JP und KR Tools (TEL, IPS, JUSUNG ...)).
Einen Download unseres Behälter-Datenblattes finden sie hier:
Canister LR (engl.) (382 KByte)
Ihre Vorteile
Sie bekommen genau die Precursor-Behälter, die für Ihren Einsatz und Ihre Tools passen:
Alle Kanister aus elektropoliertem Edelstahl 316L
Qualitätskontrollen bezüglich Dichtigkeit und Produktintegrität
Optionen wie z.B. Zusatzventile für Wiederbefüllung durch externe Liefersysteme verfügbar
Optionale Füllstandsmesser verfügbar
Optionale Verbindungsspülventile verfügbar
Abmaße für Sie konfigurierbar
Wir berücksichtigen die Anforderungen der meisten Toolhersteller
