Chemischer und physikalischer Analysenservice
Die Air Liquide Tochter Balazs (chemische und physikalische Analytik) führt weltweit chemische Spurenanalysen durch. Die Schwerpunkte der Aktivitäten liegen in der Spurenanalytik von Reinstmedien und der Qualifikation von installierten Versorgungssystemen.
Was möchten Sie erreichen?
Sie möchten Proben auf Spurenverunreinigungen analysieren?
Sie suchen nach Ursachen (z. B. Kontamination) für Prozessprobleme?
Sie benötigen eine genaue Gehaltsbestimmung eines Stoffgemisches?
Sie wollen Partikelgrößen und deren Bestandteile bestimmen?
Sie wollen die Effizienz Ihres Scrubber-Systems ermitteln?
Unser Service
In unseren spezialisierten Laboren analysieren Teams von Fachkräften Ihre Proben unter Reinraumbedingungen auf Spuren bis in den unteren ppt-Bereich (1ppt=10^-12).
Unser europäisches Labor liegt 40 km südlich von Paris am Standort des Halbleiterproduzenten ALTIS (IBM-Infineon). Es ist Teil eines internationalen Netzwerks mit Standorten in den USA und Japan, welches unsere Forschungszentren mit einschließt. Die Labore sind nach ISO 17025 zertifiziert. In Europa analysieren für Sie ca. 20 spezialisierte Mitarbeiter - zum Teil mit bis zu 20 Jahren Felderfahrung.
Die Schwerpunkte liegen in der Spurenanalytik von Reinstmedien (Wasser, Prozesschemikalien) und der Qualifikation von installierten Versorgungssystemen. Das Portfolio umfasst aber auch andere Bereiche, wie die Bestimmung von Kontaminationen im Reinraumbereich (Luft, Oberflächen, verwendete Komponenten etc.). Desweiteren gibt es eine Expertise im Bereich Slurry-Charakterisierung.
Unsere Analysen liegen also, zusammengefasst, in den folgenden Bereichen:
Reinstwasser und Prozesschemikalien
Luft
Analyse verbauter Komponenten
Exhaust-Analyse
Trägergas-Analysen
Referenzen finden Sie unter anderem bei unseren Kunden: Infineon, ST Microelectronics, Atmel, NXP, X-FAB, Systemlieferanten und viele Kunden aus dem Pharmabereich.
Der Service im Detail
Folgende Analysen und Services bieten wir an:
Reinstwasser und Prozesschemikalien nach SEMI-Standards, Messungen bis in den unteren ppt-Bereich:
Kationenanalyse (Metallspuren) mittels ICP-MS (typisch 15 oder bis 30 Elemente)
Anionen- und Ammoniakanalyse durch Ionenchromatographie
Silizium gelöst
Partikel in Slurries: Größenverteilung und Konzentrationen mittels Beugung am Laserstrahl.
In Luft und ausgasenden Reinraumkomponenten:
Säuren (organisch und mineralisch)
Basen (organisch und mineralisch)
Dotierwerkstoffe (Bor und Phosphor im %-Bereich).
Und weiterhin:
Analyse verbauter Komponenten: Auslaugversuche mit anschließendem sauren Aufschluss sowie nachfolgender Ionenanalyse (Kationen/Anionen) wie oben genannt
Exhaustanalyse: Massenbilanzen sowie Bestimmung der Scrubbereffizienz mittels FTIR up-/downstream, UV/VIS, Quadrupol-MS; Erstellung von Topographien zentraler Abgassysteme
Bulkgasanalyse: Parameter H2O, O2, N2, H2, CH4, CO, CO2, Kohlenwasserstoffe, Partikel. Es werden spezielle analytische Verfahren wie z.B. APIX, FTIR, GC, GCMS, Laser Diode, Partikel Detektor verwandt.
Als mögliche Probennahmebehälter versenden wir:
doppelt in Folie verpackte Bubblersysteme/Waschflaschen
Tenaxröhrchen mit integrierter Pumpe
Gasbehälter aus Aluminium, Ventile an Kopf und Fuß zum besseren Freisplülen
gekühlte und isolierte Transportbehälter für instabile Proben wie H2O2, Slurries oder auch UPW.
Ihre Vorteile
Zertifizierung nach ISO 17025
20 Jahre Erfahrung
kurze Transportzeiten in unser Labor
Schlüsselpersonen unseres Labors kommen aus dem Prozessbereich eines Halbleiterwerkes; Anforderungen werden so stets aus der Perspektive unserer Kunden gesehen.
weltweiter Wissensaustausch zwischen unseren Laboren und den R&D Einrichtungen
schnelle Ergebnis-Übermittlung an unsere Kunden
gutes Preis-/Leistungsverhältnis.
Was muss ich tun?
Zur Klärung Ihrer Detailfragen stehen Ihnen unsere fachkundigen Spezialisten jederzeit gerne zur Verfügung. Wir...
analysieren mit Ihnen gemeinsam den Prozess
beraten Sie bei der Auswahl geeigneter und sinnvoller Messverfahren
nehmen Proben zur Analyse im Labor oder messen vor Ort falls erforderlich und möglich
unterstützen Sie bei der Ursachensuche im Falle von Verunreinigungen
und stellen Ihnen bei Bedarf gerne unsere Anfrageformulare (Formular Prozesschemikalien, Formular Reinstwasser, Formular Komponenten, Formular Luft/Reinraumkomponenten) zur Verfügung.
