Messkampagnen für Gasqualitäten
Wir bieten Ihnen Analytik-Messkampagnen zur Verifizierung Ihrer Gasqualitäten an bestimmten Punkten an und natürlich auch eine kontinuierliche Prozess- und Qualitätskontrolle.
Was möchten Sie erreichen?
Sie sind an einer Qualifizierung von Prozessgassystemen oder Teilen davon interessiert?
Sie interessieren sich für eine kontinuierlichen Prozess- und Systemkontrolle?
Sie suchen Hilfe beim Trouble-Shooting?
Unser Service
Für Nachweise von Gasverunreinigung unterhält AIR LIQUIDE Electronics ein Analytik-Team, welches sowohl permanent vor Ort bei Kunden agiert (Prozesskontrolle; Erkennung von Unregelmäßigkeiten), wie auch mobile Kampagnen in ganz Europa unternimmt, z.B. zur Qualifizierung von Purifiern oder Bulk- und Onsite-Systemen. In Summe betreibt dieses Team über 130 Messgeräte, davon allein über 15 APIX-Systeme.
Für Gaseanforderungen im "Ultra-High-Purity Bereich (UHP)" Bereich:
Wenn Sie Nachweise von Gasverunreinigungsgrößen bis in den ppt-Bereich benötigen, bieten wir Ihnen die APIX-Technologie plus Partikelzählung.
Wenn Sie Nachweise von Gasverunreinigungsgrößen bis in den ppb-Bereich benötigen, bieten wir Ihnen entsprechende Messsysteme an. Es können Feuchte, Partikel und einzelne Gasanteile mittels Gaschromatographie gemessen werden. Die Geräte weisen die Gasqualität regelmäßig hinter dem Purifier und der Sekundärfilterstation nach.
Für Gaseanforderungen im High-Purity Bereich (HP) Bereich wird in den Grundgasen meist nur der O2-Gehalt gemessen.
Eine Visualisierung der Ergebnisse (Monitoring) gehört ebenfalls zu unserem Spektrum.
Der Service im Detail
Die APIX-Technologie (Massenspektrometer) weist folgende Verunreinigungen im sub-ppb-level nach: 0,01ppb: H2O, O2, CH4, CO, CO2; 1ppb: H2.
Die Gaschromatographie z.B. mit RGA5 weist folgende Verunreinigungen im ppb-level nach: 5 ppb: H2, CH4, CO2, NMHC (Nicht-Methankohlenwasserstoffe); 10 ppb: CO mit RGD (Reduktionsgasdetektor) und FID (Flammenionisationsdetektor)
Andere, weitere Messungen sind z.B.:
Feuchtemessungen mittels Meeco Tracer (P2O5 Zelle) : 5 ppb H2O
Sauerstoffmessungen mittels Delta F Nano Trace: bis 0,2 ppb O2; für den HP Bereich Delta F Process: bis 2ppb
Partikelmessungen mit Laserpartikelzähler HPGP bis 0,1 ym
Weitere Informationen finden Sie hier:
Messkampagnen für Gasqualitäten (164 KByte)
Ihre Vorteile
Leckagenerkennung im System
Erkennung von Rückströmungen von Tools ins System
Point of Use-Überwachung
Erkennung von Unregelmäßigkeiten
Profitieren Sie von der Möglichkeit mobiler Kampagnen, z.B. für Qualifizierungen oder Trouble-Shooting
Sie profitieren von unseren Erfahrungen
Was muss ich tun?
Ganz einfach: Sprechen Sie uns an!
