Halbleiter-Industrie
Unser Equipment für die Halbleiter- und Photovoltaik-Industrie
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Wir bieten Ihnen Komplettlösungen für die Versorgung von Halbleiterprozessen mit Spezialgasen (ESG = Electronic Specialty Gases) an. ...weiter
Chemieversorgungssysteme von Air Liquide ...weiter
Das CANDI-System für CVD- und ALD-Prozesse bietet eine sehr hohe Zuverlässigkeit bei einer Entnahme von Precursorn sehr niedrigen Dampfdrucks. ...weiter
Mit unseren Green-Fab-Abgasreinigungssystemen können Sie die restlichen Prozessgase so behandeln, dass sie sicher an die Umwelt abgegeben werden können. ...weiter
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