Was möchten Sie erreichen?

Unsere Lösung

Für Ätzprozesse bieten wir Ihnen das "Universal Plasma Abatement System" (UPAS) zur Abgasbehandlung mit Mikrowellen-Plasma an. Die Kohlenwasserstoffe werden auch bei hohen Konzentrationen effektiv und dauerhaft zerstört.

Diese patentierte Technologie für den atmosphärischen Bereich ist eine neue Alternative zu den klassischen Vebrennungssystemen. Die UPAS-Technologie besticht gegenüber klassischen Systemen besonders im Bereich der Effizienz und der wenigen benötigten Betriebsmittel (keine Brenngase, nur Strom, kein Wasserverbrauch oder dessen Aufbereitung), sowie einer kleinen Standfläche.

Seit 2003 ist die UPAS-Technologie bereits im Einsatz und konnte sich im Halbleiter-Bereich bewähren.

Anlässlich der Semicon West im Juli 2005 gewann diese Technologie beim "Eurosemi IC Industry Award 2005" in der Kategorie "Materials" - "Improvement".
Eine ausführliche Information dazu in englischer Sprache finden Sie hier zum Download (23,0 KByte)

Technische Details

Wir unterscheiden zwei Modelle von UPAS-Abgasreinigungsanlagen: das Trocken-UPAS- und das Wet-UPAS-System.

UPAS-Anlage zur Abgasreinigung

Zum Trocken-UPAS-System:
Die FCKW-Gase der Ätzprozesse (wie CF₄, CHF₃, C₄F₈, SF₆, CH₂F₂) werden durch das UPAS-System abgebaut. Die maximale Abbaurate der Ätzgase beträgt 99 %. Die entstehenden Abbauprodukte, in erster Linie Halogene (wie F₂, COF₂, SO₂F₂, SOF₄ und NOF), werden mittels eines nachzuschaltenden "Dry Scrubbers" aus dem Abgasstrom entfernt. Ein "Wet scrubbing" ist nicht einsetzbar wegen des entstehenden F₂ (OF₂ würde generiert). Das System basiert auf Mikrowellentechnologie und nutzt Sauerstoff (O₂) als reaktives Gas.

Zum Wet-UPAS-System:
Hier wird zusätzlich eine minimale Menge Wasserdampf mit eingesetzt. Dadurch werden nachzubehandelnde Abbauprodukte wie SO₂F₂ und SOF₄ nicht mehr generiert. F₂ ist nur noch in vernachlässigbarer Größe vorhanden. Entstehendes HF kann z. B. durch einen "End-of-Pipe Scrubber" entfernt werden.

Daraus folgt der Hauptvorteil des Systems: Es ist kein sonst nachzuschaltender "Dryscrubber" mehr erforderlich. Das Abgas kann direkt zum "EoP" (End of Pipe)-System geführt werden.

Folgende Werte werden mit der UPAS-Technologie erreicht:

Werte bei Wet-UPAS-Abgasbehandlung

Die Kohlenwasserstoffe werden umgewandelt in COF₂, SiF₄, CO₂, CO, HF, (SO₂F₂, SOF₄ und F₂).

Technologie bei beiden Modellen:
Atmosphärische Mikrowellen-Plasma-Strahlen geben sehr hohe elektronische Dichten ab. Eine große Anzahl nichtelastischer elektronneutraler Kollisionen ermöglicht eine sehr effiziente Trennung bei relativ hohen Konzentrationen. Solche nichtelastischen Kollisionen laufen bei diesem Verfahren permanent ab und verhindern dabei die Erneuerung der Eingangsmoleküle. Damit können hohe Zerstörungs- und Abtragungs-Effizienzen ("DREs") - selbst bei hohen Konzentrationen - erreicht werden.

Weitere Informationen zur UPAS-Technologie finden Sie in unserer Produktinformation UPAS (engl.) (95,7 KByte)

Ihre Vorteile

Was muss ich tun?

Um besser auf Ihren Bedarf eingehen zu können, benötigen wir vorab einige Informationen über Ihren Prozess. Dazu finden Sie nachfolgend einen Fragebogen (95,4 KByte) , den Sie uns bitte ausgefüllt zurückschicken möchten.

Zur Klärung Ihrer Detailfragen stehen Ihnen unsere fachkundigen Spezialisten jederzeit gerne zur Verfügung.

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