Grundgas-Versorgung
Tanks und Onsite-Anlagen für die Halbleiter-Industrie
Wir bieten Ihnen Bulkgas-Versorgungen für alle Verbrauchsmengen, von einer Bündelversorgung bis zur Onsite-Versorgung, jeweils mit dem entsprechenden Service an.
| Versorgungssystem | Typ | Flowbereich |
| Bündelversorgung | CISA | 1 - 10 m³/h |
| Bulk-Kabinette | JUMBO™ | 1 - 20 m³/h |
| Tank | Celine C3 - C60 | 10 - 500 m³/h |
| Luftzerleger für N2 | APSA T3 - T6 | 300 - 1.000 m³/h |
| Luftzerleger für N2 | APSA LE 3 - LE8 | 3.000 - 8.000 m³/h |
| Helium-Versorgung | ABSAL | 30 - 60 m³/h |
Kaltvergaser der Baureihe Celine liefern wir Ihnen in allen notwendigen Größen ...weiter
Onsite-Erzeugung von Stickstoff bis 1000m3/h ...weiter
Onsite-Erzeugung von Stickstoff ab 3000m3/h ...weiter
Das CISA-System ist die optimale Lösung für eine Bündelversorgung mit Prozessgasen. ...weiter
Diese Systeme sind für hohe Abnahmemengen (>100 l / Min.) konzipiert. ...weiter
Ab 30 m³/h wird eine Flüssig-Versorgung interessant. ...weiter
Teleflo-System: Fernüberwachung von Tanks ...weiter
Rund um die Bulkgas-Versorgung bietet die Air Liquide einen kompletten Service: ...weiter
