Spezialgas-Versorgung
Wir bieten Ihnen Komplettlösungen für die Versorgung von Halbleiterprozessen mit Spezialgasen (ESG = Electronic Specialty Gases) an.
Unsere FabStream™-Gaskabinette sind für alle Zylindergase geeignet und lassen sich durch viele frei wählbare Optionen individuell anpassen. ...weiter
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert. Bei größeren Bedarfen ist dies auch für Bulkgebinde erhältlich. ...weiter
Diese Systeme sind für hohe Abnahmemengen (>100 l / Min.) konzipiert. ...weiter
Das CISA-System ist die optimale Lösung für eine Bündelversorgung mit Prozessgasen. ...weiter
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). ...weiter
Unser Elektronik-Team berät Sie gerne. Sprechen Sie uns an!
Air Liquide - Wir stehen für Lösungen
