Gaskabinette

Unsere FabStream™-Gaskabinette sind für alle Zylindergase geeignet und lassen sich durch viele frei wählbare Optionen individuell anpassen.

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Technische Details
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Was möchten Sie erreichen?

Sie benötigen ein Gasgruppen-spezifisches Gas-Kabinett?

Unsere Lösung

Unsere Gas-Kabinette richten sich nach Ihren Anforderungen. Wir bieten Ihnen sowohl manuelle Gaskabinette für Spülgase, semiautomatische Kabinette für Inertgase als auch vollautomatische Varianten für alle Prozessgase (toxische, korrosive, oxidierende, brennbare oder inerte).

Technische Details

Gas-Kabinett FSIII

FSIII:
- vollautomatisches Kabinett für alle verflüssigten Prozessgase mit niedrigem Dampfdruck (toxisch, korrosiv, oxidierend oder brennbar), z. B. für BCl₃, HF, C₅F₈, NF₃, B₂H₆, Cl₂, HBr, SiH₂Cl₂, HCl, CO, WF₆, C₂H₂, NH₃, SiH₄, PH₃, AsH₃, CH₂F₂ etc..
- Datenblatt zum Download (126 KByte)

Gas-Kabinett FSII

FSII:
- semiautomatisches Kabinett für inerte Gase, wie z. B. CF₄, SF₆, CO₂, N₂O, C₂F₆, C₄F₈, CHF₃, Kr/Ne
- automatische Umschaltung
- automatische oder manuelle Spülvorgänge
- Datenblatt zum Download (689 KByte)

Gas-Kabinett FSI

FSI:
- Gas-Kabinett für manuelle Spülvorgänge; Ein-Zylinder-Betrieb
- Optional erhältlich: Spülgaspanel und Druckanzeigen

Charakteristika der automatischen Variante (*=optional):

dynamische Echtzeitanzeige von Druck, Gewicht, Alarmen, Ventilstellungen
identische Panel
Venturi-unterstütztes Vakuum
Druckreduzierung
Reinigung durch Purifier* oder Filter*
Analoge Signale: Vor- und Hinterdruck, Gewicht
Digitale Signale: z. B. Venturi-Druck, Spülgas-Druck*, Durchflusswächter*, Doppelrohrüberwachung*, Abluft-Differenzdruck

Optionen der automatischen Variante:

RPV-Modul (Doppelblockventil m. Doppelwendel)
zusätzliche Spülventile
zusätzliche Isolationsventile für Venturi + Spülgas
adsorbtive Abgasaufbereitung (Detoxal) für giftige Gase
die oben mit * gekennzeichneten Komponenten:
- Purifier oder Filter
- Digitale Signale: Spülgas-Druck, Durchflusswächter, Doppelrohrüberwachung

Die Panels

Die Panels zeichnen sich durch niedrige Toträume und leichte Wartung aus.

Charakteristika der Panels:

Venturi-unterstütztes Vakuum
Druckreduzierung
Reinigung durch Purifier oder Filter
Analoge Signale: Vor- und Hinterdruck, Gewicht
Digitale Signale: z. B. Venturi-Druck, Spülgas-Druck, Durchflusswächter, Doppelrohrüberwachung, Abluft-Differenzdruck

Entspannungstableaus FSII & FSIII

Die Steuerung

Steuerung eines Standardkabinetts

Nur die Systeme FSII & FSIII verfügen über eine Steuerung. Die Steuerung (mit Touch-Screen Bedienung) stellt eine ununterbrochene Entnahme und eine gleichbleibende Gasqualität durch präzise, automatisch gesteuerte Spülzyklen sicher.

Auch die Sicherheitsfunktionen werden von der Steuerung übernommen. Das Resultat ist ein sicheres Gasversorgungssystem bis zum Point-of-use.