Dichlorsilan N30
Eigenschaften
Formel
SiH2Cl2
Haupteigenschaften
hochentzündlich
giftig; korrosiv; ätzend
Physikalisch-Chemische Eigenschaften
Aussehen | an feuchter Luft rauchend |
Geruch | stechend |
Molmasse | 101,0 g/mol |
Zustand bei 20 °C, 1 bar | gasförmig |
Schmelzpunkt | -122 °C |
Siedepunkt | 8,4 °C |
Kritische Temperatur | 176,3 °C |
Kritischer Druck | 43,78 bar |
Explosionsgrenze (in Luft) | 2,5-99 % |
Zündtemperatur | 55 °C |
Dichte, gasförmig, (15 °C, 1,013 bar) | 4,34 kg/m³ |
Relative Dichte, gasf. (Luft = 1) | 3,59 |
Dampfdruck bei 20 °C | 1,67 bar |
Löslichkeit in Wasser (20 °C, 1 bar) | hydrolysiert |
Anmerkungen
Produkt ist europaweit verfügbar
Anwendungen
Halbleiter-Industrie: Erzeugung von Siliziumdioxid und Siliziumnitrid-Schichten bei der CVD, Herstellung von Silizium
Sicherheit
Gefahrenkennzeichen
 Leicht- oder Hochentzündlich |  Giftig/Tödlich |  Ätzend |
Sicherheitsdatenblätter
Wir bieten Ihnen Sicherheitsdatenblätter zu Dichlorsilan N30 als PDF-Dokumente zum Download an:
GGVS/ADR Klassifizierung
Bitte beachten Sie bei der Anwendung von Dichlorsilan N30 die Klassifizierung nach den Sicherheitsvorschriften der GGVS/ADR:
UN 2189 Dichlorsilan, Klasse 2 Ziffer 2 TFC
Transportkennzeichen
 2.1: Entzündbare Gase |  2.3: Giftige Gase |  8: Ätzende Stoffe |
Schulungen
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Lieferformen
Dichlorsilan N30 in Gasflaschen
Wir bieten Ihnen Dichlorsilan N30 in Gasflaschen an.
Flaschenmerkmale
Schulterfarbe | gelb (RAL 1018)  |
Flaschenventil (manuell) | DIN 477 Nr. 5, NF-J |
Flaschenventil (pneumatisch) | DISS636 |
Qualitäten
| Bezeichnung | Reinheit/Fremdgase | Behälter | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Bezeichnung | Inhalt | Fülldruck | Materialnummer | ||
| Dichlorsilan N30 | ≥ 99,9 %
| S10 Stahl | 4,5-9 kg | 0,3 bar | k.A. |
| S10 | 4,5-9 kg | 0,3 bar | k.A. | ||
| L50 Stahl | 20-45 kg | 0,3 bar | k.A. | ||
| L50 Nickel | 20-45 kg | 0,3 bar | k.A. | ||
| Fass | 837 kg | 0,3 bar | k.A. | ||
